科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2010年
35期
123
,共1页
张勇%张勇%张剑%张剑%熊国宏%熊国宏
張勇%張勇%張劍%張劍%熊國宏%熊國宏
장용%장용%장검%장검%웅국굉%웅국굉
微电子机械系统%传感器%尺度效应
微電子機械繫統%傳感器%呎度效應
미전자궤계계통%전감기%척도효응
MEMS技术是一门新兴的技术,是多种学科交叉融合的前沿高技术,近年来越来越受到世界各国的重视.本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、及主要应用.
MEMS技術是一門新興的技術,是多種學科交扠融閤的前沿高技術,近年來越來越受到世界各國的重視.本文簡要介紹瞭MEMS的基本概唸、產生髮展過程、技術特點、製造工藝、及主要應用.
MEMS기술시일문신흥적기술,시다충학과교차융합적전연고기술,근년래월래월수도세계각국적중시.본문간요개소료MEMS적기본개념、산생발전과정、기술특점、제조공예、급주요응용.
