CAJ | 학술논문

利用磁悬浮技术实现了微进给机构的运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.采用主动可控电磁阻尼系统,控制线圈的电流即可控制系统的阻尼,可根据实际应用场合,确定采用恒定阻尼还是时变阻尼.对磁悬浮微进给机构实施PID控制,并进行了仿真试验.结果表明:当阻尼恒定不变时,应使C2=0.5～1.0,机构的位移控制超调量≤0.933%,绝对稳态误差值≤1.77～2.30 μm;当采用时变阻尼系统时,位移控制超调量≤3.617%,绝对稳态误差值≤0.033 μm,运动控制达到纳米级准确度.
이용자현부기술실현료미진급궤구적운동부건여운행도궤지간적무접촉지탱,소제료마찰여마손,극복료마찰산생적금속분진오염문제.채용주동가공전자조니계통,공제선권적전류즉가공제계통적조니,가근거실제응용장합,학정채용항정조니환시시변조니.대자현부미진급궤구실시PID공제,병진행료방진시험.결과표명:당조니항정불변시,응사C2=0.5～1.0,궤구적위이공제초조량≤0.933%,절대은태오차치≤1.77～2.30 μm;당채용시변조니계통시,위이공제초조량≤3.617%,절대은태오차치≤0.033 μm,운동공제체도납미급준학도.