激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2004年
7期
24-30
,共7页
调焦调平传感器%步进重复投影光刻机%步进扫描投影光刻机%逐场调焦调平
調焦調平傳感器%步進重複投影光刻機%步進掃描投影光刻機%逐場調焦調平
조초조평전감기%보진중복투영광각궤%보진소묘투영광각궤%축장조초조평
阐述了投影光刻机调焦调平传感器的重要作用及其技术进展,详细介绍了国际上典型的调焦调平传感器,并对多种传感技术的光学原理和关键技术进行了分析和比较.
闡述瞭投影光刻機調焦調平傳感器的重要作用及其技術進展,詳細介紹瞭國際上典型的調焦調平傳感器,併對多種傳感技術的光學原理和關鍵技術進行瞭分析和比較.
천술료투영광각궤조초조평전감기적중요작용급기기술진전,상세개소료국제상전형적조초조평전감기,병대다충전감기술적광학원리화관건기술진행료분석화비교.
