固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2005年
4期
513-516
,共4页
高孝裕%周勇%雷冲%陈吉安%倪智平%毛海平%王志民
高孝裕%週勇%雷遲%陳吉安%倪智平%毛海平%王誌民
고효유%주용%뢰충%진길안%예지평%모해평%왕지민
微电感%电感量%品质因子%微机电系统
微電感%電感量%品質因子%微機電繫統
미전감%전감량%품질인자%미궤전계통
采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等.研制的微电感大小为1 500 μm×900 μm×100 μm,线圈匝数为41匝,宽度为20 μm,线圈之间的间隙为20 μm,高深宽比为5∶1.测试结果表明:在1～10 MHz频率下,其电感量为0.408～0.326 μH,Q值为1.6～4.2.
採用微機電繫統(MEMS)技術製作瞭磁芯螺線管微電感,該技術包括UV-LIGA、榦法刻蝕技術、拋光和電鍍技術等.研製的微電感大小為1 500 μm×900 μm×100 μm,線圈匝數為41匝,寬度為20 μm,線圈之間的間隙為20 μm,高深寬比為5∶1.測試結果錶明:在1～10 MHz頻率下,其電感量為0.408～0.326 μH,Q值為1.6～4.2.
채용미궤전계통(MEMS)기술제작료자심라선관미전감,해기술포괄UV-LIGA、간법각식기술、포광화전도기술등.연제적미전감대소위1 500 μm×900 μm×100 μm,선권잡수위41잡,관도위20 μm,선권지간적간극위20 μm,고심관비위5∶1.측시결과표명:재1～10 MHz빈솔하,기전감량위0.408～0.326 μH,Q치위1.6～4.2.
