河北工业大学学报
河北工業大學學報
하북공업대학학보
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2005年
4期
33-37
,共5页
徐辉%李林安%门玉涛%成广庆
徐輝%李林安%門玉濤%成廣慶
서휘%리림안%문옥도%성엄경
有限元%膜基体系%微硬度实验%压入深度
有限元%膜基體繫%微硬度實驗%壓入深度
유한원%막기체계%미경도실험%압입심도
使用FEPG软件编程,对维氏压头的微硬度实验进行模拟,建立了一种针对膜基体系有限元计算的新模型,该模型考虑了边界摩擦和实时跟踪接触因素,在对TiN单层膜和TiN/Ti/TiN/Ti/TiN/Ti 6层膜压痕的模拟分析后,得出"载荷-压痕对角线长度关系曲线"和"硬度-载荷关系曲线"以及塑性区分布图,并对微硬度实验中的压头的压入深度相对于单层膜膜层厚度和多层膜中组分膜膜层厚度的取值进行了讨论.与其他文献中的实验比较,结果吻合.说明模型是合理的,结果是可靠的,对实际应用具有指导意义,并为理论分析提供了研究方法.
使用FEPG軟件編程,對維氏壓頭的微硬度實驗進行模擬,建立瞭一種針對膜基體繫有限元計算的新模型,該模型攷慮瞭邊界摩抆和實時跟蹤接觸因素,在對TiN單層膜和TiN/Ti/TiN/Ti/TiN/Ti 6層膜壓痕的模擬分析後,得齣"載荷-壓痕對角線長度關繫麯線"和"硬度-載荷關繫麯線"以及塑性區分佈圖,併對微硬度實驗中的壓頭的壓入深度相對于單層膜膜層厚度和多層膜中組分膜膜層厚度的取值進行瞭討論.與其他文獻中的實驗比較,結果吻閤.說明模型是閤理的,結果是可靠的,對實際應用具有指導意義,併為理論分析提供瞭研究方法.
사용FEPG연건편정,대유씨압두적미경도실험진행모의,건립료일충침대막기체계유한원계산적신모형,해모형고필료변계마찰화실시근종접촉인소,재대TiN단층막화TiN/Ti/TiN/Ti/TiN/Ti 6층막압흔적모의분석후,득출"재하-압흔대각선장도관계곡선"화"경도-재하관계곡선"이급소성구분포도,병대미경도실험중적압두적압입심도상대우단층막막층후도화다층막중조분막막층후도적취치진행료토론.여기타문헌중적실험비교,결과문합.설명모형시합리적,결과시가고적,대실제응용구유지도의의,병위이론분석제공료연구방법.
