农业机械学报
農業機械學報
농업궤계학보
TRANSACTIONS OF THE CHINESE SOCIETY OF AGRICULTURAL MACHINERY
2009年
3期
203-207
,共5页
静电致动器%流固耦合%数值仿真%微机电系统
靜電緻動器%流固耦閤%數值倣真%微機電繫統
정전치동기%류고우합%수치방진%미궤전계통
微器件动力学特性通常受到周围粘性流体阻尼的强烈影响,在器件优化设计中,需要建立静电-结构-流体三场耦合模型才能细致考虑这些影响.为研究微开关在粘性流体介质中的动/静态特性和流体阻尼,建立以Navier-Stokes方程描述流体特性的静电微开关模型并进行数值分析;与相关文献结果比较验证了计算的正确性;得到了空气和去离子水介质中微开关的静/动态闭合电压、不同阶跃电压驱动下的闭合特性和流体阻尼力分布的情况.分析认为,微开关动/静态闭合电压的差异在介质粘性较大环境中较小,而在介质粘性较小环境中较大.
微器件動力學特性通常受到週圍粘性流體阻尼的彊烈影響,在器件優化設計中,需要建立靜電-結構-流體三場耦閤模型纔能細緻攷慮這些影響.為研究微開關在粘性流體介質中的動/靜態特性和流體阻尼,建立以Navier-Stokes方程描述流體特性的靜電微開關模型併進行數值分析;與相關文獻結果比較驗證瞭計算的正確性;得到瞭空氣和去離子水介質中微開關的靜/動態閉閤電壓、不同階躍電壓驅動下的閉閤特性和流體阻尼力分佈的情況.分析認為,微開關動/靜態閉閤電壓的差異在介質粘性較大環境中較小,而在介質粘性較小環境中較大.
미기건동역학특성통상수도주위점성류체조니적강렬영향,재기건우화설계중,수요건립정전-결구-류체삼장우합모형재능세치고필저사영향.위연구미개관재점성류체개질중적동/정태특성화류체조니,건립이Navier-Stokes방정묘술류체특성적정전미개관모형병진행수치분석;여상관문헌결과비교험증료계산적정학성;득도료공기화거리자수개질중미개관적정/동태폐합전압、불동계약전압구동하적폐합특성화류체조니력분포적정황.분석인위,미개관동/정태폐합전압적차이재개질점성교대배경중교소,이재개질점성교소배경중교대.
