测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2009年
3期
201-204
,共4页
李秋柱%刘毅%牛康康%刘君%丑修建
李鞦柱%劉毅%牛康康%劉君%醜脩建
리추주%류의%우강강%류군%축수건
微器件%白光干涉%垂直扫描法%包络线%零光程差位置
微器件%白光榦涉%垂直掃描法%包絡線%零光程差位置
미기건%백광간섭%수직소묘법%포락선%령광정차위치
垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌, 更适合具有台阶结构的微纳结构, 其分辨率高、解算速度快、精度较高. 本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法, 对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析, 并重构台阶结构的表面形貌, 微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求, 即光强峰值附近没有达到饱和, 得出了清晰的三维形貌图, 解算出的台阶高度和实际台阶高度一致, 其横向分辨率为 1.6 μm, 纵向分辨率为 0.05 μm.
垂直掃描法可以重構微繫統中微納結構的錶麵形貌, 更適閤具有檯階結構的微納結構, 其分辨率高、解算速度快、精度較高. 本文利用基于白光榦涉技術的垂直掃描法, 對微器件的檯階形貌在微繫統測試儀下所得的榦涉圖進行分析, 併重構檯階結構的錶麵形貌, 微繫統測試儀所取的榦涉圖符閤垂直掃描法的要求, 即光彊峰值附近沒有達到飽和, 得齣瞭清晰的三維形貌圖, 解算齣的檯階高度和實際檯階高度一緻, 其橫嚮分辨率為 1.6 μm, 縱嚮分辨率為 0.05 μm.
수직소묘법가이중구미계통중미납결구적표면형모, 경괄합구유태계결구적미납결구, 기분변솔고、해산속도쾌、정도교고. 본문이용기우백광간섭기술적수직소묘법, 대미기건적태계형모재미계통측시의하소득적간섭도진행분석, 병중구태계결구적표면형모, 미계통측시의소취적간섭도부합수직소묘법적요구, 즉광강봉치부근몰유체도포화, 득출료청석적삼유형모도, 해산출적태계고도화실제태계고도일치, 기횡향분변솔위 1.6 μm, 종향분변솔위 0.05 μm.
