机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2010年
5期
711-714
,共4页
隔振%橡胶空气弹簧%刚度%振动传递率
隔振%橡膠空氣彈簧%剛度%振動傳遞率
격진%상효공기탄황%강도%진동전체솔
压印光刻机是一种精密仪器,外界环境激励对压印光刻机的影响很大.橡胶空气弹簧是一种气囊减振器,用橡胶空气弹簧隔离外界环境对压印光刻机的干扰,能保护压印光刻机免受低频激励力的激励,文中阐述压印光刻机低频橡胶空气弹簧单自由度隔振系统的隔振原理,确定橡胶空气弹簧的刚度及隔振系统的固有频率,隔振系统的固有频率及隔振效率的理论结果与实际隔振系统的试验结果相吻合,表明压印光刻机的低频隔振设计是合理可行的.
壓印光刻機是一種精密儀器,外界環境激勵對壓印光刻機的影響很大.橡膠空氣彈簧是一種氣囊減振器,用橡膠空氣彈簧隔離外界環境對壓印光刻機的榦擾,能保護壓印光刻機免受低頻激勵力的激勵,文中闡述壓印光刻機低頻橡膠空氣彈簧單自由度隔振繫統的隔振原理,確定橡膠空氣彈簧的剛度及隔振繫統的固有頻率,隔振繫統的固有頻率及隔振效率的理論結果與實際隔振繫統的試驗結果相吻閤,錶明壓印光刻機的低頻隔振設計是閤理可行的.
압인광각궤시일충정밀의기,외계배경격려대압인광각궤적영향흔대.상효공기탄황시일충기낭감진기,용상효공기탄황격리외계배경대압인광각궤적간우,능보호압인광각궤면수저빈격려력적격려,문중천술압인광각궤저빈상효공기탄황단자유도격진계통적격진원리,학정상효공기탄황적강도급격진계통적고유빈솔,격진계통적고유빈솔급격진효솔적이론결과여실제격진계통적시험결과상문합,표명압인광각궤적저빈격진설계시합리가행적.
