化学工程与装备
化學工程與裝備
화학공정여장비
CHEMICAL ENGINEERING & EQUIPMENT
2010年
10期
119-125
,共7页
张涛%何国球%蔡仁涛%赵小跟
張濤%何國毬%蔡仁濤%趙小跟
장도%하국구%채인도%조소근
化学气相淀积(CVD)%硼化钛(TiB2)%硼化锆(ZrB2)%硼化铪(HfB2)
化學氣相澱積(CVD)%硼化鈦(TiB2)%硼化鋯(ZrB2)%硼化鉿(HfB2)
화학기상정적(CVD)%붕화태(TiB2)%붕화고(ZrB2)%붕화협(HfB2)
MB2(M=Ti,Zr,Hf)是ⅣB族过渡金属的硼化物,化学气相淀积(CVD)是制各MB2类薄膜材料和保护涂层的最有效技术之一.对MB2类材料CVD制备的热力学进行了简要分析.阐述了反应前驱体的选择和应用.对近年来MB2类材料的CVD合成制备的最新研究报道进行了整理和总结,对MB2类材料的CVD制备发展进程进行了概括.从CVD过程的设备工艺到产物的表征,从显微结构的定性研究到晶格常数匹配的定量分析,均进行了简要的阐述.最后,对CVD工艺制备MB2类材料的发展和应用前景进行了展望.
MB2(M=Ti,Zr,Hf)是ⅣB族過渡金屬的硼化物,化學氣相澱積(CVD)是製各MB2類薄膜材料和保護塗層的最有效技術之一.對MB2類材料CVD製備的熱力學進行瞭簡要分析.闡述瞭反應前驅體的選擇和應用.對近年來MB2類材料的CVD閤成製備的最新研究報道進行瞭整理和總結,對MB2類材料的CVD製備髮展進程進行瞭概括.從CVD過程的設備工藝到產物的錶徵,從顯微結構的定性研究到晶格常數匹配的定量分析,均進行瞭簡要的闡述.最後,對CVD工藝製備MB2類材料的髮展和應用前景進行瞭展望.
MB2(M=Ti,Zr,Hf)시ⅣB족과도금속적붕화물,화학기상정적(CVD)시제각MB2류박막재료화보호도층적최유효기술지일.대MB2류재료CVD제비적열역학진행료간요분석.천술료반응전구체적선택화응용.대근년래MB2류재료적CVD합성제비적최신연구보도진행료정리화총결,대MB2류재료적CVD제비발전진정진행료개괄.종CVD과정적설비공예도산물적표정,종현미결구적정성연구도정격상수필배적정량분석,균진행료간요적천술.최후,대CVD공예제비MB2류재료적발전화응용전경진행료전망.
