微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
2期
118-123
,共6页
MEMS微针%移动LIGA工艺%X射线曝光%电镀%PDMS转模
MEMS微針%移動LIGA工藝%X射線曝光%電鍍%PDMS轉模
MEMS미침%이동LIGA공예%X사선폭광%전도%PDMS전모
MEMS微针在生物领域中的应用日益广泛,为了方便微针刺入皮肤且减少疼痛,要求微针具有足够的强度和锐利的尖端.传统LIGA工艺只能制造出具有高深宽比的垂直侧壁结构.对传统LIGA工艺进行调整,对光刻胶PMMA进行两次曝光,并通过移动光刻胶台改变X射线的光刻方向,使两次X射线曝光方向相垂直,提出移动LIGA工艺,即移动光刻工艺.此外,利用等腰三角形作为掩膜板图案,显影之后得到截面与X射线掩膜板图案相似的三维实心PMMA微针阵列.再利用此PMMA微针阵列作为原始模具,PDMS转模形成PDMS一级模具,电镀镍得到与PMMA微针阵列相似的金属镍微针阵列.
MEMS微針在生物領域中的應用日益廣汎,為瞭方便微針刺入皮膚且減少疼痛,要求微針具有足夠的彊度和銳利的尖耑.傳統LIGA工藝隻能製造齣具有高深寬比的垂直側壁結構.對傳統LIGA工藝進行調整,對光刻膠PMMA進行兩次曝光,併通過移動光刻膠檯改變X射線的光刻方嚮,使兩次X射線曝光方嚮相垂直,提齣移動LIGA工藝,即移動光刻工藝.此外,利用等腰三角形作為掩膜闆圖案,顯影之後得到截麵與X射線掩膜闆圖案相似的三維實心PMMA微針陣列.再利用此PMMA微針陣列作為原始模具,PDMS轉模形成PDMS一級模具,電鍍鎳得到與PMMA微針陣列相似的金屬鎳微針陣列.
MEMS미침재생물영역중적응용일익엄범,위료방편미침자입피부차감소동통,요구미침구유족구적강도화예리적첨단.전통LIGA공예지능제조출구유고심관비적수직측벽결구.대전통LIGA공예진행조정,대광각효PMMA진행량차폭광,병통과이동광각효태개변X사선적광각방향,사량차X사선폭광방향상수직,제출이동LIGA공예,즉이동광각공예.차외,이용등요삼각형작위엄막판도안,현영지후득도절면여X사선엄막판도안상사적삼유실심PMMA미침진렬.재이용차PMMA미침진렬작위원시모구,PDMS전모형성PDMS일급모구,전도얼득도여PMMA미침진렬상사적금속얼미침진렬.
