制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2012年
8期
125-128
,共4页
轮廓误差%实时性%联动控制%微细加工%轮廓控制
輪廓誤差%實時性%聯動控製%微細加工%輪廓控製
륜곽오차%실시성%련동공제%미세가공%륜곽공제
根据微细加工的实时性、精度要求,提出压电器件的分段控制方法及其两轴联动的嵌入式控制系统结构.根据误差将压电器件控制分为恒电压控制与误差控制两个阶段,恒电压控制段采用迟滞特性主环的平均曲线估算恒值控制电压,误差控制段利用积分控制,研制了基于ARM Cortex处理器的两轴联动微细加工用压电平台控制系统.测试表明:阶跃响应稳态误差＜0.1μm,调节时间约1.2ms,超调量约5.6％；正弦响应误差-0.343～0.245 μm；轮廓稳态误差-0.084～0.079 μm,考虑系统超调,轮廓误差-0.41～0.131 μm,能满足微细加工领域的实时精确控制要求.
根據微細加工的實時性、精度要求,提齣壓電器件的分段控製方法及其兩軸聯動的嵌入式控製繫統結構.根據誤差將壓電器件控製分為恆電壓控製與誤差控製兩箇階段,恆電壓控製段採用遲滯特性主環的平均麯線估算恆值控製電壓,誤差控製段利用積分控製,研製瞭基于ARM Cortex處理器的兩軸聯動微細加工用壓電平檯控製繫統.測試錶明:階躍響應穩態誤差＜0.1μm,調節時間約1.2ms,超調量約5.6％；正絃響應誤差-0.343～0.245 μm；輪廓穩態誤差-0.084～0.079 μm,攷慮繫統超調,輪廓誤差-0.41～0.131 μm,能滿足微細加工領域的實時精確控製要求.
근거미세가공적실시성、정도요구,제출압전기건적분단공제방법급기량축련동적감입식공제계통결구.근거오차장압전기건공제분위항전압공제여오차공제량개계단,항전압공제단채용지체특성주배적평균곡선고산항치공제전압,오차공제단이용적분공제,연제료기우ARM Cortex처리기적량축련동미세가공용압전평태공제계통.측시표명:계약향응은태오차＜0.1μm,조절시간약1.2ms,초조량약5.6％；정현향응오차-0.343～0.245 μm；륜곽은태오차-0.084～0.079 μm,고필계통초조,륜곽오차-0.41～0.131 μm,능만족미세가공영역적실시정학공제요구.
