机电产品开发与创新
機電產品開髮與創新
궤전산품개발여창신
DEVELOPMENT & INNOVATION OF MACHINERY & ELECTRICAL PRODUCTS
2012年
5期
74-76
,共3页
光电检测%狭缝成像%接触压力
光電檢測%狹縫成像%接觸壓力
광전검측%협봉성상%접촉압력
介绍了一种基于光电检测原理的高精度接触式二维轮廓检测仪.该仪器将CCD成像检测技术与接触式检测技术有机的结合起来,通过狭缝成像方式代替进口容栅和磁栅,实现对工件的高精度尺寸检测,具有接触压力小,成本低等优点.实验测得,仪器最小分辨率为1μm,多次测量重复精度为±5μm.
介紹瞭一種基于光電檢測原理的高精度接觸式二維輪廓檢測儀.該儀器將CCD成像檢測技術與接觸式檢測技術有機的結閤起來,通過狹縫成像方式代替進口容柵和磁柵,實現對工件的高精度呎吋檢測,具有接觸壓力小,成本低等優點.實驗測得,儀器最小分辨率為1μm,多次測量重複精度為±5μm.
개소료일충기우광전검측원리적고정도접촉식이유륜곽검측의.해의기장CCD성상검측기술여접촉식검측기술유궤적결합기래,통과협봉성상방식대체진구용책화자책,실현대공건적고정도척촌검측,구유접촉압력소,성본저등우점.실험측득,의기최소분변솔위1μm,다차측량중복정도위±5μm.
