纳米晶钛膜中氦注入的保持剂量
납미정태막중양주입적보지제량
Preservation dose of helium-implanted in nanocrystal titanium films
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2004年 2期 555-560 ,共6页

    郑思孝%罗顺忠%刘仲阳%龙兴贵%王培禄%彭述明%廖小东%刘宁

    정사효%라순충%류중양%룡흥귀%왕배록%팽술명%료소동%류저

    离子注入%纳米晶粒钛膜%氦%保持剂量 離子註入%納米晶粒鈦膜%氦%保持劑量
    리자주입%납미정립태막%양%보지제량
    在从室温到500℃的温度范围内,用卢瑟福质子背散射技术分别测量了不同能量、不同剂量注入的纳米晶钛膜中氦的浓度分布,不同温度时的保持剂量及其释放浓度.发现氦在这种纳米晶粒膜中其氦-钛原子浓度比达到41%-52%时能在室温到100℃的温度下长期稳定保持,若其原子浓度达52%-74%时也能在室温环境有效保持.文中对这种具有大的界面体积比的膜能有效保持氦这种惰性元素的可能机理从能量观点进行了初步探讨.
    재종실온도500℃적온도범위내,용로슬복질자배산사기술분별측량료불동능량、불동제량주입적납미정태막중양적농도분포,불동온도시적보지제량급기석방농도.발현양재저충납미정립막중기양-태원자농도비체도41%-52%시능재실온도100℃적온도하장기은정보지,약기원자농도체52%-74%시야능재실온배경유효보지.문중대저충구유대적계면체적비적막능유효보지양저충타성원소적가능궤리종능량관점진행료초보탐토.
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