微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2002年
3期
23-27
,共5页
初明璋%顾文琪%张福安%彭开武%时东霞
初明璋%顧文琪%張福安%彭開武%時東霞
초명장%고문기%장복안%팽개무%시동하
电子束缩小投影曝光%聚光镜%投影镜%反差
電子束縮小投影曝光%聚光鏡%投影鏡%反差
전자속축소투영폭광%취광경%투영경%반차
主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点,针对在原理论证机上做的实验,着重分析讨论了聚光镜电流的大小对曝光结果的影响.
主要介紹瞭電子束縮小投影曝光機的工作原理及其特點,針對在原理論證機上做的實驗,著重分析討論瞭聚光鏡電流的大小對曝光結果的影響.
주요개소료전자속축소투영폭광궤적공작원리급기특점,침대재원이론증궤상주적실험,착중분석토론료취광경전류적대소대폭광결과적영향.
