发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2006年
6期
953-957
,共5页
刘学超%施尔畏%陈之战%张华伟%宋力昕
劉學超%施爾畏%陳之戰%張華偉%宋力昕
류학초%시이외%진지전%장화위%송력흔
ZnO薄膜%Co掺杂%溅射沉积%光学特性
ZnO薄膜%Co摻雜%濺射沉積%光學特性
ZnO박막%Co참잡%천사침적%광학특성
采用磁约束电感耦合等离子体增强溅射法(ICP-PVD)在Si(100)和石英玻璃衬底上沉积了Zn0.95Co0.05O薄膜.XRD谱显示薄膜具有较强的(002)衍射峰,表明Zn0.95Co0.05O薄膜为c轴择优取向生长;透过光谱显示Zn0.95Co0.05O薄膜具有良好的透过性,其在可见光和红外波段的平均透过率大于80%,吸收光谱表明Co2+取代了Zn2+处于四配位晶体场中;喇曼光谱证明Zn0.95Co0.05O薄膜具有良好的六方纤锌矿结构;室温PL谱测量发现在可见光的蓝光波段和绿光波段存在较宽的发光带,却没有发现本征的近紫外光发射,这是由于Co掺杂后引入较多的缺陷导致的.
採用磁約束電感耦閤等離子體增彊濺射法(ICP-PVD)在Si(100)和石英玻璃襯底上沉積瞭Zn0.95Co0.05O薄膜.XRD譜顯示薄膜具有較彊的(002)衍射峰,錶明Zn0.95Co0.05O薄膜為c軸擇優取嚮生長;透過光譜顯示Zn0.95Co0.05O薄膜具有良好的透過性,其在可見光和紅外波段的平均透過率大于80%,吸收光譜錶明Co2+取代瞭Zn2+處于四配位晶體場中;喇曼光譜證明Zn0.95Co0.05O薄膜具有良好的六方纖鋅礦結構;室溫PL譜測量髮現在可見光的藍光波段和綠光波段存在較寬的髮光帶,卻沒有髮現本徵的近紫外光髮射,這是由于Co摻雜後引入較多的缺陷導緻的.
채용자약속전감우합등리자체증강천사법(ICP-PVD)재Si(100)화석영파리츤저상침적료Zn0.95Co0.05O박막.XRD보현시박막구유교강적(002)연사봉,표명Zn0.95Co0.05O박막위c축택우취향생장;투과광보현시Zn0.95Co0.05O박막구유량호적투과성,기재가견광화홍외파단적평균투과솔대우80%,흡수광보표명Co2+취대료Zn2+처우사배위정체장중;나만광보증명Zn0.95Co0.05O박막구유량호적륙방섬자광결구;실온PL보측량발현재가견광적람광파단화록광파단존재교관적발광대,각몰유발현본정적근자외광발사,저시유우Co참잡후인입교다적결함도치적.
