物理学报
物理學報
물이학보
2007年
4期
2377-2381
,共5页
马国佳%刘喜亮%张华芳%武洪臣%彭丽平%蒋艳莉
馬國佳%劉喜亮%張華芳%武洪臣%彭麗平%蔣豔莉
마국가%류희량%장화방%무홍신%팽려평%장염리
纳米TiC类金刚石复合膜%类金刚石膜%力学性能
納米TiC類金剛石複閤膜%類金剛石膜%力學性能
납미TiC류금강석복합막%류금강석막%역학성능
采用离子注入与反应磁控溅射相结合的方法在钛合金及硅片基体表面上制备了纳米TiC类金刚石(DLC)复合膜.通过纳米压痕技术检测了薄膜的纳米硬度,显微划痕试验评估了薄膜的结合力.通过X射线光电子能谱及X射线衍射表征了薄膜的化学结构.结果表明,通过改变C2H2气体流量,可以达到控制薄膜中钛原子含量的目的,合适的C2H2气体流量可以在DLC膜中形成较多的纳米TiC晶粒,形成DLC包覆TiC晶粒的复合结构,使DLC膜力学性能得到明显提高.另外,划痕试验表明掺钛、先注入后沉积工艺都使薄膜的结合力得到了较大提高.
採用離子註入與反應磁控濺射相結閤的方法在鈦閤金及硅片基體錶麵上製備瞭納米TiC類金剛石(DLC)複閤膜.通過納米壓痕技術檢測瞭薄膜的納米硬度,顯微劃痕試驗評估瞭薄膜的結閤力.通過X射線光電子能譜及X射線衍射錶徵瞭薄膜的化學結構.結果錶明,通過改變C2H2氣體流量,可以達到控製薄膜中鈦原子含量的目的,閤適的C2H2氣體流量可以在DLC膜中形成較多的納米TiC晶粒,形成DLC包覆TiC晶粒的複閤結構,使DLC膜力學性能得到明顯提高.另外,劃痕試驗錶明摻鈦、先註入後沉積工藝都使薄膜的結閤力得到瞭較大提高.
채용리자주입여반응자공천사상결합적방법재태합금급규편기체표면상제비료납미TiC류금강석(DLC)복합막.통과납미압흔기술검측료박막적납미경도,현미화흔시험평고료박막적결합력.통과X사선광전자능보급X사선연사표정료박막적화학결구.결과표명,통과개변C2H2기체류량,가이체도공제박막중태원자함량적목적,합괄적C2H2기체류량가이재DLC막중형성교다적납미TiC정립,형성DLC포복TiC정립적복합결구,사DLC막역학성능득도명현제고.령외,화흔시험표명참태、선주입후침적공예도사박막적결합력득도료교대제고.
