机械制造
機械製造
궤계제조
MACHINERY
2009年
1期
7-9
,共3页
纳米工作台%精密定位%宏运动%微运动
納米工作檯%精密定位%宏運動%微運動
납미공작태%정밀정위%굉운동%미운동
介绍了基于宏微两级驱动方式的纳米工作台定位系统,重点在时宏微动态切换时宏动台固定与否对其自身振动情况的影响进行测试分析.研究表明,宏动台被锁定后可以明显减小其台面振动幅度,对后面微动台以及整个系统定位精度的提高起着关键性作用.
介紹瞭基于宏微兩級驅動方式的納米工作檯定位繫統,重點在時宏微動態切換時宏動檯固定與否對其自身振動情況的影響進行測試分析.研究錶明,宏動檯被鎖定後可以明顯減小其檯麵振動幅度,對後麵微動檯以及整箇繫統定位精度的提高起著關鍵性作用.
개소료기우굉미량급구동방식적납미공작태정위계통,중점재시굉미동태절환시굉동태고정여부대기자신진동정황적영향진행측시분석.연구표명,굉동태피쇄정후가이명현감소기태면진동폭도,대후면미동태이급정개계통정위정도적제고기착관건성작용.
