脉冲激光溅射沉积镱铒共掺Al2O3薄膜工艺参数优化
맥충격광천사침적의이공참Al2O3박막공예삼수우화
Optimization Process Parameters of Pulsed Laser Deposition Er3+ /Yb3+ Co-doped Al2O3 Thin Films
  • 万方数据
    应用激光 응용격광
    APPLIED LASER
    2009年 3期 194-198 ,共5页

    刘中凡%郝雪%朱文选%宋昌烈

    류중범%학설%주문선%송창렬

    脉冲激光沉积(PLD)%镱、铒共掺Al2O3薄膜%氧分压%靶间距 脈遲激光沉積(PLD)%鐿、鉺共摻Al2O3薄膜%氧分壓%靶間距
    맥충격광침적(PLD)%의、이공참Al2O3박막%양분압%파간거
    分别以铝、铒、镱为靶材,采用脉冲激光沉积技术(PLD),在二氧化硅/硅基底上沉积镱、铒共掺的三氧化二铝薄膜.利用原子力显微镜(AFM)、单色仪等分析手段,研究了薄膜的表面形貌、光致发光强度(PL)等性质.优化了氧分压和靶间距两个重要工艺参数.光致发光强度提高14倍,半峰宽提高了70nm.
    분별이려、이、의위파재,채용맥충격광침적기술(PLD),재이양화규/규기저상침적의、이공참적삼양화이려박막.이용원자력현미경(AFM)、단색의등분석수단,연구료박막적표면형모、광치발광강도(PL)등성질.우화료양분압화파간거량개중요공예삼수.광치발광강도제고14배,반봉관제고료70nm.
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