高压GaAs微型太阳电池阵列的制备
고압GaAs미형태양전지진렬적제비
Fabrication of High Voltage GaAs Micro-Solar Cell Arrays
  • 万方数据
    微纳电子技术 미납전자기술
    MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
    2011年 4期 220-224,247 ,共6页

    白一鸣%陈诺夫%王彦硕%王俊%黄添懋%汪宇%张兴旺%尹志刚%张汉%吴金良%姚建曦

    백일명%진낙부%왕언석%왕준%황첨무%왕우%장흥왕%윤지강%장한%오금량%요건희

    微型电源%GaAs太阳电池%漏电流%湿法腐蚀工艺%互连结构 微型電源%GaAs太暘電池%漏電流%濕法腐蝕工藝%互連結構
    미형전원%GaAs태양전지%루전류%습법부식공예%호련결구
    为了提高GaAs微型太阳电池的输出性能,对微型太阳电池阵列的主要工艺进行了研究和改进.通过对帽层、背电极层和台面的选择性/非选择性湿法腐蚀工艺的探索,实现了对最佳腐蚀液的配比、腐蚀时间和温度的控制.采用侧壁钝化工艺和聚酰亚氨(PI)/SiO2/TiAu/SiO2新型互连结构,不仅确保了电池单元之间有效的隔离和互连,而且极大地降低了侧壁载流子复合电流,同时这种新型互连结构可有效防止由于衬底光敏现象引起的漏电流.经过上述器件工艺改进,获得了高集成度GaAs微型太阳电池阵列.电流-电压(Jsc-Voc)测试结果显示,器件的开路电压达到84.2 V,填充因子为57%.
    위료제고GaAs미형태양전지적수출성능,대미형태양전지진렬적주요공예진행료연구화개진.통과대모층、배전겁층화태면적선택성/비선택성습법부식공예적탐색,실현료대최가부식액적배비、부식시간화온도적공제.채용측벽둔화공예화취선아안(PI)/SiO2/TiAu/SiO2신형호련결구,불부학보료전지단원지간유효적격리화호련,이차겁대지강저료측벽재류자복합전류,동시저충신형호련결구가유효방지유우츤저광민현상인기적루전류.경과상술기건공예개진,획득료고집성도GaAs미형태양전지진렬.전류-전압(Jsc-Voc)측시결과현시,기건적개로전압체도84.2 V,전충인자위57%.
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