纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2011年
4期
305-309
,共5页
H型亚微米梁%混频特性%窗口效应%静电激励
H型亞微米樑%混頻特性%窗口效應%靜電激勵
H형아미미량%혼빈특성%창구효응%정전격려
本文简述了H型亚微米梁的工艺实现过程,从实验上详细研究H型梁的两种混频方式:向下混频和向上混频.考察的H型粱长度分别为8μm、10 μm、12 μm和15 μm,小激励下谐振频率分别为13.30 MHz、8.77 MHz、6.12 MHz和3.65 MHz.通过在梁上施加两路不同频率的静电激励信号,调整两信号频率差值及和值在粱的本振频率附近变化,经过梁的自适应过程实现信号混频,最后由多普勒测振仪检测粱的混频特性.实验结果表明梁在向下混频时的振幅随两路信号频率的平移而改变,出现所谓的窗口效应；对于这两种混频方式,混频分量越接近梁的本征频率,梁的振幅越大,反之梁振幅下降越多；在输入信号功率均设置为14 dBm时,对比向上混频,向下混频使得粱的振幅更大,诸如12 μm长的梁向下混频时梁振幅为4.082nm,而向上混频时混频处振幅仅为1.826nm.
本文簡述瞭H型亞微米樑的工藝實現過程,從實驗上詳細研究H型樑的兩種混頻方式:嚮下混頻和嚮上混頻.攷察的H型粱長度分彆為8μm、10 μm、12 μm和15 μm,小激勵下諧振頻率分彆為13.30 MHz、8.77 MHz、6.12 MHz和3.65 MHz.通過在樑上施加兩路不同頻率的靜電激勵信號,調整兩信號頻率差值及和值在粱的本振頻率附近變化,經過樑的自適應過程實現信號混頻,最後由多普勒測振儀檢測粱的混頻特性.實驗結果錶明樑在嚮下混頻時的振幅隨兩路信號頻率的平移而改變,齣現所謂的窗口效應；對于這兩種混頻方式,混頻分量越接近樑的本徵頻率,樑的振幅越大,反之樑振幅下降越多；在輸入信號功率均設置為14 dBm時,對比嚮上混頻,嚮下混頻使得粱的振幅更大,諸如12 μm長的樑嚮下混頻時樑振幅為4.082nm,而嚮上混頻時混頻處振幅僅為1.826nm.
본문간술료H형아미미량적공예실현과정,종실험상상세연구H형량적량충혼빈방식:향하혼빈화향상혼빈.고찰적H형량장도분별위8μm、10 μm、12 μm화15 μm,소격려하해진빈솔분별위13.30 MHz、8.77 MHz、6.12 MHz화3.65 MHz.통과재량상시가량로불동빈솔적정전격려신호,조정량신호빈솔차치급화치재량적본진빈솔부근변화,경과량적자괄응과정실현신호혼빈,최후유다보륵측진의검측량적혼빈특성.실험결과표명량재향하혼빈시적진폭수량로신호빈솔적평이이개변,출현소위적창구효응；대우저량충혼빈방식,혼빈분량월접근량적본정빈솔,량적진폭월대,반지량진폭하강월다；재수입신호공솔균설치위14 dBm시,대비향상혼빈,향하혼빈사득량적진폭경대,제여12 μm장적량향하혼빈시량진폭위4.082nm,이향상혼빈시혼빈처진폭부위1.826nm.
