石墨烯基红外探测器的高k栅氧集成
석묵희기홍외탐측기적고k책양집성
High-k gate oxides integration of graphene based infrared detector
  • 万方数据
    红外与毫米波学报 홍외여호미파학보
    JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
    2012年 2期 118-121,158 ,共5页

    周鹏%魏红强%孙清清%叶立%陈琳%吴东平%丁士进%张卫

    주붕%위홍강%손청청%협립%진림%오동평%정사진%장위

    石墨烯%红外探测器%高k栅氧集成 石墨烯%紅外探測器%高k柵氧集成
    석묵희%홍외탐측기%고k책양집성
    从石墨烯发现与制备出发,综述了室温下双层石墨烯或石墨烯带禁带在0～250 meV可调的特性,及其在中远红外探测器的背栅、顶栅结构中作为栅氧形成材料的应用,并介绍了目前各种先进工艺.
    종석묵희발현여제비출발,종술료실온하쌍층석묵희혹석묵희대금대재0～250 meV가조적특성,급기재중원홍외탐측기적배책、정책결구중작위책양형성재료적응용,병개소료목전각충선진공예.
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