光电子技术与信息
光電子技術與信息
광전자기술여신식
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY & INFORMATION
2004年
6期
67-71
,共5页
彭宗举%陈芬%周亚训%冯伯儒%张锦
彭宗舉%陳芬%週亞訓%馮伯儒%張錦
팽종거%진분%주아훈%풍백유%장금
全息光刻%耦合波理论%衍射特性%光刻技术
全息光刻%耦閤波理論%衍射特性%光刻技術
전식광각%우합파이론%연사특성%광각기술
通过耦合波理论分析,使用矩阵转换方法,对全息光刻中全息掩模衍射效率进行数值模拟计算,得出了影响全息掩模衍射特性的因素主要是显影前后记录材料平均介电常数的改变、介质的膨胀与收缩以及非共轭再现等,为实验研究提供了理论依据.
通過耦閤波理論分析,使用矩陣轉換方法,對全息光刻中全息掩模衍射效率進行數值模擬計算,得齣瞭影響全息掩模衍射特性的因素主要是顯影前後記錄材料平均介電常數的改變、介質的膨脹與收縮以及非共軛再現等,為實驗研究提供瞭理論依據.
통과우합파이론분석,사용구진전환방법,대전식광각중전식엄모연사효솔진행수치모의계산,득출료영향전식엄모연사특성적인소주요시현영전후기록재료평균개전상수적개변、개질적팽창여수축이급비공액재현등,위실험연구제공료이론의거.
