材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2000年
1期
96-99
,共4页
张勤远%沈军%李小丽%杨天河%吴广明%周斌%王珏
張勤遠%瀋軍%李小麗%楊天河%吳廣明%週斌%王玨
장근원%침군%리소려%양천하%오엄명%주빈%왕각
水热法%纳米ZrO2薄膜%单斜相ZrO2%光学高反膜%激光损伤阈值
水熱法%納米ZrO2薄膜%單斜相ZrO2%光學高反膜%激光損傷閾值
수열법%납미ZrO2박막%단사상ZrO2%광학고반막%격광손상역치
用水热盐溶液水解法可合成含有单斜相晶态纳米ZrO2颗粒的ZrO2溶胶体.用匀胶法制备的纳米ZrO2薄膜厚度约160 nm,折光率为1.56.纳米ZrO2薄膜表面质量良好,无表面裂隙,台阶仪研究表明薄膜表面粗糙度算术差Ra=2.7 nm,均方根差Rq=3.7 nm.以ZrO2为高折射率膜层,碱催化的溶胶凝胶SiO2为低折射率膜层,制备了SiO2/ZrO2多层高反射率薄膜,10周期的SiO2/ZrO2多层膜系,在1.06 μm波段处透过率为1%,薄膜表面抗激光损伤阈值约15 J/cm2(1.06 μm,2.5 ns高功率激光作用下).
用水熱鹽溶液水解法可閤成含有單斜相晶態納米ZrO2顆粒的ZrO2溶膠體.用勻膠法製備的納米ZrO2薄膜厚度約160 nm,摺光率為1.56.納米ZrO2薄膜錶麵質量良好,無錶麵裂隙,檯階儀研究錶明薄膜錶麵粗糙度算術差Ra=2.7 nm,均方根差Rq=3.7 nm.以ZrO2為高摺射率膜層,堿催化的溶膠凝膠SiO2為低摺射率膜層,製備瞭SiO2/ZrO2多層高反射率薄膜,10週期的SiO2/ZrO2多層膜繫,在1.06 μm波段處透過率為1%,薄膜錶麵抗激光損傷閾值約15 J/cm2(1.06 μm,2.5 ns高功率激光作用下).
용수열염용액수해법가합성함유단사상정태납미ZrO2과립적ZrO2용효체.용균효법제비적납미ZrO2박막후도약160 nm,절광솔위1.56.납미ZrO2박막표면질량량호,무표면렬극,태계의연구표명박막표면조조도산술차Ra=2.7 nm,균방근차Rq=3.7 nm.이ZrO2위고절사솔막층,감최화적용효응효SiO2위저절사솔막층,제비료SiO2/ZrO2다층고반사솔박막,10주기적SiO2/ZrO2다층막계,재1.06 μm파단처투과솔위1%,박막표면항격광손상역치약15 J/cm2(1.06 μm,2.5 ns고공솔격광작용하).
