电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2000年
11期
132-133,136
,共3页
AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管%自对准结构%微空气桥隔离腚
AlGaAs/GaAs異質結雙極晶體管%自對準結構%微空氣橋隔離腚
AlGaAs/GaAs이질결쌍겁정체관%자대준결구%미공기교격리정
利用微空气桥隔离和自对准技术成功地研制出了自对准结构的AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管.器件展现出良好的直流和高频特性.对于发射极面积为2μm×15μm的器件,直流电流增益大于10,失调电压(Offsetvoltage)200mV;电流增益截止频率fT大于30GHz,最高振荡频率fmax约为50GHz.
利用微空氣橋隔離和自對準技術成功地研製齣瞭自對準結構的AlGaAs/GaAs異質結雙極晶體管.器件展現齣良好的直流和高頻特性.對于髮射極麵積為2μm×15μm的器件,直流電流增益大于10,失調電壓(Offsetvoltage)200mV;電流增益截止頻率fT大于30GHz,最高振盪頻率fmax約為50GHz.
이용미공기교격리화자대준기술성공지연제출료자대준결구적AlGaAs/GaAs이질결쌍겁정체관.기건전현출량호적직류화고빈특성.대우발사겁면적위2μm×15μm적기건,직류전류증익대우10,실조전압(Offsetvoltage)200mV;전류증익절지빈솔fT대우30GHz,최고진탕빈솔fmax약위50GHz.
