强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2004年
5期
555-559
,共5页
曾志革%邓建明%李晓今%凌宁%姜文汉
曾誌革%鄧建明%李曉今%凌寧%薑文漢
증지혁%산건명%리효금%릉저%강문한
能动磨盘%非球面反射镜%光学加工%残余误差%变形
能動磨盤%非毬麵反射鏡%光學加工%殘餘誤差%變形
능동마반%비구면반사경%광학가공%잔여오차%변형
能动抛光磨盘实时产生不同的表面变形,在对大口径非球面光学元件进行精磨和抛光时实现与工件表面良好的大尺寸吻合,可以消除传统光学加工采用小尺寸磨头时带来的高频残余误差并提高加工效率.以加工直径1.3m左右,F/2的抛物面光学元件为例,对能动磨盘在不同离轴度时能够产生的变形进行了计算和实验.结果表明,能动磨盘能够以较高精度产生旋转对称或非对称的抛物面形状.对能动磨盘产生变形后的残余误差进行了分析.
能動拋光磨盤實時產生不同的錶麵變形,在對大口徑非毬麵光學元件進行精磨和拋光時實現與工件錶麵良好的大呎吋吻閤,可以消除傳統光學加工採用小呎吋磨頭時帶來的高頻殘餘誤差併提高加工效率.以加工直徑1.3m左右,F/2的拋物麵光學元件為例,對能動磨盤在不同離軸度時能夠產生的變形進行瞭計算和實驗.結果錶明,能動磨盤能夠以較高精度產生鏇轉對稱或非對稱的拋物麵形狀.對能動磨盤產生變形後的殘餘誤差進行瞭分析.
능동포광마반실시산생불동적표면변형,재대대구경비구면광학원건진행정마화포광시실현여공건표면량호적대척촌문합,가이소제전통광학가공채용소척촌마두시대래적고빈잔여오차병제고가공효솔.이가공직경1.3m좌우,F/2적포물면광학원건위례,대능동마반재불동리축도시능구산생적변형진행료계산화실험.결과표명,능동마반능구이교고정도산생선전대칭혹비대칭적포물면형상.대능동마반산생변형후적잔여오차진행료분석.
