材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2004年
6期
617-622
,共6页
马大衍%马胜利%徐可为%S.Veprek
馬大衍%馬勝利%徐可為%S.Veprek
마대연%마성리%서가위%S.Veprek
无机非金属材料%纳米薄膜%PCVD%硬度%热稳定性
無機非金屬材料%納米薄膜%PCVD%硬度%熱穩定性
무궤비금속재료%납미박막%PCVD%경도%열은정성
用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法在不锈钢基体上制备了Ti-Si-N硬质纳米复合薄膜,研究了Si含量对薄膜硬度的影响及高温退火对薄膜晶粒尺寸及其硬度的影响.结果表明:薄膜的硬度随着Si含量的增加有先增大后减小的趋势,最大硬度可达70 GPa以上.薄膜表现出了较高的热稳定性能,对于晶粒尺寸在4 nm以下的薄膜,Ti-Si-N薄膜的纳米结构和硬度可以维持在1000℃以上.沉积态薄膜的晶粒尺寸是影响薄膜再结晶温度的主要因素.薄膜的高热稳定性是由于沉积过程中发生的自发调幅分解形成了纳米复合结构,偏析使得纳米晶晶界具有强的热力学稳定性.
用直流等離子體增彊化學氣相沉積(PCVD)方法在不鏽鋼基體上製備瞭Ti-Si-N硬質納米複閤薄膜,研究瞭Si含量對薄膜硬度的影響及高溫退火對薄膜晶粒呎吋及其硬度的影響.結果錶明:薄膜的硬度隨著Si含量的增加有先增大後減小的趨勢,最大硬度可達70 GPa以上.薄膜錶現齣瞭較高的熱穩定性能,對于晶粒呎吋在4 nm以下的薄膜,Ti-Si-N薄膜的納米結構和硬度可以維持在1000℃以上.沉積態薄膜的晶粒呎吋是影響薄膜再結晶溫度的主要因素.薄膜的高熱穩定性是由于沉積過程中髮生的自髮調幅分解形成瞭納米複閤結構,偏析使得納米晶晶界具有彊的熱力學穩定性.
용직류등리자체증강화학기상침적(PCVD)방법재불수강기체상제비료Ti-Si-N경질납미복합박막,연구료Si함량대박막경도적영향급고온퇴화대박막정립척촌급기경도적영향.결과표명:박막적경도수착Si함량적증가유선증대후감소적추세,최대경도가체70 GPa이상.박막표현출료교고적열은정성능,대우정립척촌재4 nm이하적박막,Ti-Si-N박막적납미결구화경도가이유지재1000℃이상.침적태박막적정립척촌시영향박막재결정온도적주요인소.박막적고열은정성시유우침적과정중발생적자발조폭분해형성료납미복합결구,편석사득납미정정계구유강적열역학은정성.
