中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2007年
3期
422-426
,共5页
激光技术%优化设计%误差分析%角位移
激光技術%優化設計%誤差分析%角位移
격광기술%우화설계%오차분석%각위이
提出一种可提高平行平板角位移干涉测量仪测量精度的优化设计方法.对角位移干涉测量系统进行了误差分析,讨论了影响角位移测量精度的主要因素.分析了在干涉仪光路中入射到平行平板上的初始入射角度、平行平板的折射率以及厚度等参数的选取对角位移测量精度的影响.结果表明,优化选取最佳的初始入射角度以及元件参数,并在干涉光路中附加引入一平面反射镜形成光程差放大系统,可实现的角位移测量精度达10-8 rad数量级.
提齣一種可提高平行平闆角位移榦涉測量儀測量精度的優化設計方法.對角位移榦涉測量繫統進行瞭誤差分析,討論瞭影響角位移測量精度的主要因素.分析瞭在榦涉儀光路中入射到平行平闆上的初始入射角度、平行平闆的摺射率以及厚度等參數的選取對角位移測量精度的影響.結果錶明,優化選取最佳的初始入射角度以及元件參數,併在榦涉光路中附加引入一平麵反射鏡形成光程差放大繫統,可實現的角位移測量精度達10-8 rad數量級.
제출일충가제고평행평판각위이간섭측량의측량정도적우화설계방법.대각위이간섭측량계통진행료오차분석,토론료영향각위이측량정도적주요인소.분석료재간섭의광로중입사도평행평판상적초시입사각도、평행평판적절사솔이급후도등삼수적선취대각위이측량정도적영향.결과표명,우화선취최가적초시입사각도이급원건삼수,병재간섭광로중부가인입일평면반사경형성광정차방대계통,가실현적각위이측량정도체10-8 rad수량급.
