半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2007年
7期
574-576,613
,共4页
涂瑾%吴胜登%曹建伟%李世伦
塗瑾%吳勝登%曹建偉%李世倫
도근%오성등%조건위%리세륜
单晶炉%直径测量%图像处理%电荷耦合器件
單晶爐%直徑測量%圖像處理%電荷耦閤器件
단정로%직경측량%도상처리%전하우합기건
针对单晶硅生长过程中的直径测量,提出了一种基于CCD摄像头的不完整圆直径测量算法.首先利用CCD摄像头透过隔热设施俯拍单晶,获取到部分单晶生长图像;然后根据获取的该部分生长图像的特点,采用图像处理技术提取单晶体的边缘信息,并应用亚像素边缘检测技术精确获取单晶体的边缘位置;最后通过不完整圆算法把部分边缘图像还原成完整圆,从而实时获得硅单晶的直径值.该算法获得的硅单晶直径具有精度高、抗干扰性强的特点,有利于实现整个拉晶过程的全自动控制.
針對單晶硅生長過程中的直徑測量,提齣瞭一種基于CCD攝像頭的不完整圓直徑測量算法.首先利用CCD攝像頭透過隔熱設施俯拍單晶,穫取到部分單晶生長圖像;然後根據穫取的該部分生長圖像的特點,採用圖像處理技術提取單晶體的邊緣信息,併應用亞像素邊緣檢測技術精確穫取單晶體的邊緣位置;最後通過不完整圓算法把部分邊緣圖像還原成完整圓,從而實時穫得硅單晶的直徑值.該算法穫得的硅單晶直徑具有精度高、抗榦擾性彊的特點,有利于實現整箇拉晶過程的全自動控製.
침대단정규생장과정중적직경측량,제출료일충기우CCD섭상두적불완정원직경측량산법.수선이용CCD섭상두투과격열설시부박단정,획취도부분단정생장도상;연후근거획취적해부분생장도상적특점,채용도상처리기술제취단정체적변연신식,병응용아상소변연검측기술정학획취단정체적변연위치;최후통과불완정원산법파부분변연도상환원성완정원,종이실시획득규단정적직경치.해산법획득적규단정직경구유정도고、항간우성강적특점,유리우실현정개랍정과정적전자동공제.
