功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
1期
48-50
,共3页
张丛春%杨春生%石金川%丁桂甫
張叢春%楊春生%石金川%丁桂甫
장총춘%양춘생%석금천%정계보
磁控溅射%LaNiO3薄膜%显微结构%电阻率
磁控濺射%LaNiO3薄膜%顯微結構%電阻率
자공천사%LaNiO3박막%현미결구%전조솔
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜.通过后续热处理使薄膜晶化,并用四探针法测量了薄膜的表面电阻率.借助X射线衍射分析、电感耦合等离子体发射光谱、原子力显微镜等手段研究了溅射工艺及热处理温度对薄膜显微结构的影响.实验结果表明,在氧气氛保护下,于550℃处理1h,薄膜晶化.溅射氧分压在10%～25%之间,700℃热处理时可以得到表面光滑致密且电性能较好的薄膜.
採用射頻磁控濺射法在Si(100)襯底上製備瞭LaNiO3薄膜.通過後續熱處理使薄膜晶化,併用四探針法測量瞭薄膜的錶麵電阻率.藉助X射線衍射分析、電感耦閤等離子體髮射光譜、原子力顯微鏡等手段研究瞭濺射工藝及熱處理溫度對薄膜顯微結構的影響.實驗結果錶明,在氧氣氛保護下,于550℃處理1h,薄膜晶化.濺射氧分壓在10%～25%之間,700℃熱處理時可以得到錶麵光滑緻密且電性能較好的薄膜.
채용사빈자공천사법재Si(100)츤저상제비료LaNiO3박막.통과후속열처리사박막정화,병용사탐침법측량료박막적표면전조솔.차조X사선연사분석、전감우합등리자체발사광보、원자력현미경등수단연구료천사공예급열처리온도대박막현미결구적영향.실험결과표명,재양기분보호하,우550℃처리1h,박막정화.천사양분압재10%～25%지간,700℃열처리시가이득도표면광활치밀차전성능교호적박막.
