CAJ | 학술논문

用射频磁控溅射法在不同衬底上制备出了 MgxZn1- xO薄膜. X射线衍射 (XRD)和原子力显微镜( AFM)研究结果表明,薄膜为六角纤锌矿结构,具有( 002)方向择优取向;随氧分压增加,( 002) 衍射峰的角度变大,表征薄膜表面粗糙程度的方均根粗糙度减小.室温光致发光谱中有多个紫外及可见光致发光峰,其中 344nm发光峰应来源于近带边发射.室温透射谱表明薄膜在可见光区具有极高的透过率,薄膜的吸收边位于 340nm附近,进而估算出 MgxZn1- xO薄膜的带隙宽度为 3.59eV, 与光致发光结果一致.
용사빈자공천사법재불동츤저상제비출료 MgxZn1- xO박막. X사선연사 (XRD)화원자력현 미경( AFM)연구결과표명,박막위륙각섬자광결구,구유( 002)방향택우취향;수양분압증가,( 002) 연사봉적각도변대,표정박막표면조조정도적방균근조조도감소.실온광치발광보중유다개자외 급가견광치발광봉,기중 344nm발광봉응래원우근대변발사.실온투사보표명박막재가견광구구 유겁고적투과솔,박막적흡수변위우 340nm부근,진이고산출 MgxZn1- xO박막적대극관도위 3.59eV, 여광치발광결과일치.