真空
真空
진공
VACUUM
2010年
4期
82-86
,共5页
汪志健%田修波%巩春志%杨士勤%Ricky Fu
汪誌健%田脩波%鞏春誌%楊士勤%Ricky Fu
왕지건%전수파%공춘지%양사근%Ricky Fu
等离子体离子注入%粒子模拟%注入能量%剂量
等離子體離子註入%粒子模擬%註入能量%劑量
등리자체리자주입%입자모의%주입능량%제량
本文采用Particle-in-cell模型对采用电感等离子体离子注入处理管内表面的动力学过程进行数值仿真研究,考察了电感线宽对管内电势分布、鞘层重叠、离子平均注入能量、剂量和角度等的影响.计算结果表明随着电感线宽的增加,电感线圈对等离子体鞘层扩展的钳制作用增强,管内的鞘层重叠系数下降,电感内的离子消耗速度下降.在鞘层内电场力的作用下,离子会发生聚集,离子聚集点的位置随着电感线宽的增加向外移动.研究结果还表明通过增加电感线宽可以进一步提高管内表面的离子平均注入能量.离子注入以接近垂直的角度注入到管内表面,虽然电感线圈会产生阴影效应,但管内表面的阴影可以通过管与电感线圈的相对运动来消除.
本文採用Particle-in-cell模型對採用電感等離子體離子註入處理管內錶麵的動力學過程進行數值倣真研究,攷察瞭電感線寬對管內電勢分佈、鞘層重疊、離子平均註入能量、劑量和角度等的影響.計算結果錶明隨著電感線寬的增加,電感線圈對等離子體鞘層擴展的鉗製作用增彊,管內的鞘層重疊繫數下降,電感內的離子消耗速度下降.在鞘層內電場力的作用下,離子會髮生聚集,離子聚集點的位置隨著電感線寬的增加嚮外移動.研究結果還錶明通過增加電感線寬可以進一步提高管內錶麵的離子平均註入能量.離子註入以接近垂直的角度註入到管內錶麵,雖然電感線圈會產生陰影效應,但管內錶麵的陰影可以通過管與電感線圈的相對運動來消除.
본문채용Particle-in-cell모형대채용전감등리자체리자주입처리관내표면적동역학과정진행수치방진연구,고찰료전감선관대관내전세분포、초층중첩、리자평균주입능량、제량화각도등적영향.계산결과표명수착전감선관적증가,전감선권대등리자체초층확전적겸제작용증강,관내적초층중첩계수하강,전감내적리자소모속도하강.재초층내전장력적작용하,리자회발생취집,리자취집점적위치수착전감선관적증가향외이동.연구결과환표명통과증가전감선관가이진일보제고관내표면적리자평균주입능량.리자주입이접근수직적각도주입도관내표면,수연전감선권회산생음영효응,단관내표면적음영가이통과관여전감선권적상대운동래소제.
