电加工与模具
電加工與模具
전가공여모구
ELECTROMACHINING & MOULD
2011年
1期
11-14
,共4页
何铁军%汪炜%冯海娣%刘正埙
何鐵軍%汪煒%馮海娣%劉正壎
하철군%왕위%풍해제%류정훈
光刻电解%Taguchi方法%电场分析%钼栅网
光刻電解%Taguchi方法%電場分析%鉬柵網
광각전해%Taguchi방법%전장분석%목책망
影响钼栅网电解加工尺寸均一性的因素有电解液浓度、电流密度、阴极直径以及极间间隙等.利用Taguchi方法对这些因素进行综合分析及试验验证,阴极直径和极间间隙作用显著.通过ANSYS软件对电解过程中的电场进行分析,得出了阴极直径和极间间隙大小的改变对阳极表面电场的影响规律.在此基础上,采用酸性活化电解液对钼栅网进行微细光刻电解加工,取得了较好的试验结果.
影響鉬柵網電解加工呎吋均一性的因素有電解液濃度、電流密度、陰極直徑以及極間間隙等.利用Taguchi方法對這些因素進行綜閤分析及試驗驗證,陰極直徑和極間間隙作用顯著.通過ANSYS軟件對電解過程中的電場進行分析,得齣瞭陰極直徑和極間間隙大小的改變對暘極錶麵電場的影響規律.在此基礎上,採用痠性活化電解液對鉬柵網進行微細光刻電解加工,取得瞭較好的試驗結果.
영향목책망전해가공척촌균일성적인소유전해액농도、전류밀도、음겁직경이급겁간간극등.이용Taguchi방법대저사인소진행종합분석급시험험증,음겁직경화겁간간극작용현저.통과ANSYS연건대전해과정중적전장진행분석,득출료음겁직경화겁간간극대소적개변대양겁표면전장적영향규률.재차기출상,채용산성활화전해액대목책망진행미세광각전해가공,취득료교호적시험결과.
