纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2011年
3期
199-202
,共4页
MEMS传感器%三维微力%探针%性能测试
MEMS傳感器%三維微力%探針%性能測試
MEMS전감기%삼유미력%탐침%성능측시
设计了一种基于压阻效应的微机电系统(MEMS)三维微力探针传感器并对其进行了性能测试.传感器传感单元采用四梁支撑结构,接触探针采用台阶式石英光纤,使传感器的抗干扰能力和灵敏度得到了显著的提高.设计了传感器的过载保护单元,传感器整体尺寸为4 mm×4 mm×16 mm.利用三维超精密定位平台与分析天平搭建传感器测试平台,对三维微力传感器进行性能测试.测试结果表明,该传感器灵敏度优于0.010 6 mV/μN,分辨率优于3μN,非线性误差优于传感器满量程的0.94%.因此,该传感器具有体积小、成本低、灵敏度高、抗干扰能力强、线性好、分辨率高的特点,在微力测试领域拥有广阔的应用前景.
設計瞭一種基于壓阻效應的微機電繫統(MEMS)三維微力探針傳感器併對其進行瞭性能測試.傳感器傳感單元採用四樑支撐結構,接觸探針採用檯階式石英光纖,使傳感器的抗榦擾能力和靈敏度得到瞭顯著的提高.設計瞭傳感器的過載保護單元,傳感器整體呎吋為4 mm×4 mm×16 mm.利用三維超精密定位平檯與分析天平搭建傳感器測試平檯,對三維微力傳感器進行性能測試.測試結果錶明,該傳感器靈敏度優于0.010 6 mV/μN,分辨率優于3μN,非線性誤差優于傳感器滿量程的0.94%.因此,該傳感器具有體積小、成本低、靈敏度高、抗榦擾能力彊、線性好、分辨率高的特點,在微力測試領域擁有廣闊的應用前景.
설계료일충기우압조효응적미궤전계통(MEMS)삼유미력탐침전감기병대기진행료성능측시.전감기전감단원채용사량지탱결구,접촉탐침채용태계식석영광섬,사전감기적항간우능력화령민도득도료현저적제고.설계료전감기적과재보호단원,전감기정체척촌위4 mm×4 mm×16 mm.이용삼유초정밀정위평태여분석천평탑건전감기측시평태,대삼유미력전감기진행성능측시.측시결과표명,해전감기령민도우우0.010 6 mV/μN,분변솔우우3μN,비선성오차우우전감기만량정적0.94%.인차,해전감기구유체적소、성본저、령민도고、항간우능력강、선성호、분변솔고적특점,재미력측시영역옹유엄활적응용전경.
