金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2011年
4期
15-22
,共8页
朱金凤%满卫东%吕继磊%匡巧%汪建华
硃金鳳%滿衛東%呂繼磊%劻巧%汪建華
주금봉%만위동%려계뢰%광교%왕건화
单晶金刚石%化学气相沉积%同质外延%生长速率
單晶金剛石%化學氣相沉積%同質外延%生長速率
단정금강석%화학기상침적%동질외연%생장속솔
金刚石因具有诸多优异的物理化学性能而使其在很多领域都有非常广阔的应用前景.CVD法高速合成大面积、高质量单晶金刚石一直是人工合成金刚石的研究热点之一.本文首先从基底预处理、生长参数的优化以及合成工艺的改进这三个方面综述了MPCVD同质外延单晶金刚石的研究进展,其次对国内外CVD外延单晶金刚石的研究进展进行了简单的介绍,最后对CVD法合成单晶金刚石的发展方向进行了展望.
金剛石因具有諸多優異的物理化學性能而使其在很多領域都有非常廣闊的應用前景.CVD法高速閤成大麵積、高質量單晶金剛石一直是人工閤成金剛石的研究熱點之一.本文首先從基底預處理、生長參數的優化以及閤成工藝的改進這三箇方麵綜述瞭MPCVD同質外延單晶金剛石的研究進展,其次對國內外CVD外延單晶金剛石的研究進展進行瞭簡單的介紹,最後對CVD法閤成單晶金剛石的髮展方嚮進行瞭展望.
금강석인구유제다우이적물이화학성능이사기재흔다영역도유비상엄활적응용전경.CVD법고속합성대면적、고질량단정금강석일직시인공합성금강석적연구열점지일.본문수선종기저예처리、생장삼수적우화이급합성공예적개진저삼개방면종술료MPCVD동질외연단정금강석적연구진전,기차대국내외CVD외연단정금강석적연구진전진행료간단적개소,최후대CVD법합성단정금강석적발전방향진행료전망.
