强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
7期
1687-1690
,共4页
谢磊%马平%刘义彬%游云峰%鄢定尧
謝磊%馬平%劉義彬%遊雲峰%鄢定堯
사뢰%마평%류의빈%유운봉%언정요
环形抛光%大口径反射元件%工艺优化%转速%槽形
環形拋光%大口徑反射元件%工藝優化%轉速%槽形
배형포광%대구경반사원건%공예우화%전속%조형
根据环形抛光的加工特点,研究了大口径反射元件的环形抛光加工工艺.在4m环抛机上进行了610 mm×440mm×85 mm的大口径反射元件加工工艺实验,研究了修正盘及工件盘转速与元件面形的关系、修正盘及工件盘位置与元件面形的关系、沥青盘槽形与元件面形的关系.研究结果表明,通过对修正盘及工件盘转速、修正盘及工件盘位置、沥青盘槽形等工艺参数的优化控制,能够得到大口径反射元件面形的高效收敛,元件最高面形精度优于λ/6(λ =632.8 nm),验证了加工工艺的有效性.
根據環形拋光的加工特點,研究瞭大口徑反射元件的環形拋光加工工藝.在4m環拋機上進行瞭610 mm×440mm×85 mm的大口徑反射元件加工工藝實驗,研究瞭脩正盤及工件盤轉速與元件麵形的關繫、脩正盤及工件盤位置與元件麵形的關繫、瀝青盤槽形與元件麵形的關繫.研究結果錶明,通過對脩正盤及工件盤轉速、脩正盤及工件盤位置、瀝青盤槽形等工藝參數的優化控製,能夠得到大口徑反射元件麵形的高效收斂,元件最高麵形精度優于λ/6(λ =632.8 nm),驗證瞭加工工藝的有效性.
근거배형포광적가공특점,연구료대구경반사원건적배형포광가공공예.재4m배포궤상진행료610 mm×440mm×85 mm적대구경반사원건가공공예실험,연구료수정반급공건반전속여원건면형적관계、수정반급공건반위치여원건면형적관계、력청반조형여원건면형적관계.연구결과표명,통과대수정반급공건반전속、수정반급공건반위치、력청반조형등공예삼수적우화공제,능구득도대구경반사원건면형적고효수렴,원건최고면형정도우우λ/6(λ =632.8 nm),험증료가공공예적유효성.
