光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2002年
6期
683-687
,共5页
廖清君%王植恒%王磊%周传宏%赖成军%刘细成
廖清君%王植恆%王磊%週傳宏%賴成軍%劉細成
료청군%왕식항%왕뢰%주전굉%뢰성군%류세성
椭圆偏振术%吸收薄膜%模拟退火
橢圓偏振術%吸收薄膜%模擬退火
타원편진술%흡수박막%모의퇴화
将一种广泛用于求解复杂系统优化问题的技术--模拟退火法--用来求解椭偏反演方程.首先假设一个薄膜模型,计算出其相应的椭偏参数(Ψ,Δ)的值,在这个计算值的基础上加入不同标准偏差的高斯噪声;然后将加入噪声后的值(Ψm,Δm)作为模拟的测量数据,采用模拟退火算法进行求解,验证得知这种方法求得的薄膜参数很接近于假设的薄膜模型参数的真值,与其他文献的报道结果一致,而且在扩大搜寻范围时,仍然可以得到准确解,从而证明了该方法的可行性以及有效性.
將一種廣汎用于求解複雜繫統優化問題的技術--模擬退火法--用來求解橢偏反縯方程.首先假設一箇薄膜模型,計算齣其相應的橢偏參數(Ψ,Δ)的值,在這箇計算值的基礎上加入不同標準偏差的高斯譟聲;然後將加入譟聲後的值(Ψm,Δm)作為模擬的測量數據,採用模擬退火算法進行求解,驗證得知這種方法求得的薄膜參數很接近于假設的薄膜模型參數的真值,與其他文獻的報道結果一緻,而且在擴大搜尋範圍時,仍然可以得到準確解,從而證明瞭該方法的可行性以及有效性.
장일충엄범용우구해복잡계통우화문제적기술--모의퇴화법--용래구해타편반연방정.수선가설일개박막모형,계산출기상응적타편삼수(Ψ,Δ)적치,재저개계산치적기출상가입불동표준편차적고사조성;연후장가입조성후적치(Ψm,Δm)작위모의적측량수거,채용모의퇴화산법진행구해,험증득지저충방법구득적박막삼수흔접근우가설적박막모형삼수적진치,여기타문헌적보도결과일치,이차재확대수심범위시,잉연가이득도준학해,종이증명료해방법적가행성이급유효성.
