微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
2期
60-64
,共5页
魏星%侯中宇%徐东%张亚非%蔡炳初
魏星%侯中宇%徐東%張亞非%蔡炳初
위성%후중우%서동%장아비%채병초
碳纳米管%薄膜%丝网印刷%微电极%MEMS
碳納米管%薄膜%絲網印刷%微電極%MEMS
탄납미관%박막%사망인쇄%미전겁%MEMS
采用丝网印刷技术,将配制好的碳纳米管浆料涂敷到金属衬底上,形成碳纳米管薄膜,用四探针仪及表面轮廓仪分别测量了薄膜的方块电阻和表面粗糙度.结果表明,将碳纳米管球磨1 h,以质量比10%～12%与有机溶剂混合配制成浆料,丝网印刷后在真空烘箱内加热至100℃,干燥1 h,最后350℃烧结40 min,所获得的碳纳米管薄膜具有较好的导电性和较平整的表面.根据测量结果,优化了工艺参数,并结合微细加工技术获得了碳纳米管MEMS微电极.
採用絲網印刷技術,將配製好的碳納米管漿料塗敷到金屬襯底上,形成碳納米管薄膜,用四探針儀及錶麵輪廓儀分彆測量瞭薄膜的方塊電阻和錶麵粗糙度.結果錶明,將碳納米管毬磨1 h,以質量比10%～12%與有機溶劑混閤配製成漿料,絲網印刷後在真空烘箱內加熱至100℃,榦燥1 h,最後350℃燒結40 min,所穫得的碳納米管薄膜具有較好的導電性和較平整的錶麵.根據測量結果,優化瞭工藝參數,併結閤微細加工技術穫得瞭碳納米管MEMS微電極.
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