光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2008年
7期
1420-1424
,共5页
黄涛华%周圣明%滕浩%林辉%王军
黃濤華%週聖明%滕浩%林輝%王軍
황도화%주골명%등호%림휘%왕군
薄膜光学%半导体材料%ZnO薄膜%磁控溅射%LiGaO2%光致发光谱
薄膜光學%半導體材料%ZnO薄膜%磁控濺射%LiGaO2%光緻髮光譜
박막광학%반도체재료%ZnO박막%자공천사%LiGaO2%광치발광보
采用磁控溅射法在(001),(100)及(010)LiGaO2衬底上制备了ZnO薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、透过光谱以及光致发光谱(PL)对薄膜的结构、形貌及光学性质进行了表征.结果表明LiGaO2衬底不同晶面上制备的ZnO薄膜具有不同的择优取向,在(001)、(100)及(010)LiGaO2上分别获得了[001]、[1100]及[1120]取向的ZnO薄膜;不同取向的ZnO薄膜表面形貌差异较大;薄膜在可见光波段具有较高的透过率;在ZnO薄膜的光致发光谱中只观察到了位于378 nm的紫外发射峰,而深能级发射几乎观察不到,(1100)取向的薄膜紫外发射峰强度最大,半高宽也最小,薄膜光致发光件质的差异丰要和晶粒尺寸有关.
採用磁控濺射法在(001),(100)及(010)LiGaO2襯底上製備瞭ZnO薄膜,通過X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、透過光譜以及光緻髮光譜(PL)對薄膜的結構、形貌及光學性質進行瞭錶徵.結果錶明LiGaO2襯底不同晶麵上製備的ZnO薄膜具有不同的擇優取嚮,在(001)、(100)及(010)LiGaO2上分彆穫得瞭[001]、[1100]及[1120]取嚮的ZnO薄膜;不同取嚮的ZnO薄膜錶麵形貌差異較大;薄膜在可見光波段具有較高的透過率;在ZnO薄膜的光緻髮光譜中隻觀察到瞭位于378 nm的紫外髮射峰,而深能級髮射幾乎觀察不到,(1100)取嚮的薄膜紫外髮射峰彊度最大,半高寬也最小,薄膜光緻髮光件質的差異豐要和晶粒呎吋有關.
채용자공천사법재(001),(100)급(010)LiGaO2츤저상제비료ZnO박막,통과X사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)、투과광보이급광치발광보(PL)대박막적결구、형모급광학성질진행료표정.결과표명LiGaO2츤저불동정면상제비적ZnO박막구유불동적택우취향,재(001)、(100)급(010)LiGaO2상분별획득료[001]、[1100]급[1120]취향적ZnO박막;불동취향적ZnO박막표면형모차이교대;박막재가견광파단구유교고적투과솔;재ZnO박막적광치발광보중지관찰도료위우378 nm적자외발사봉,이심능급발사궤호관찰불도,(1100)취향적박막자외발사봉강도최대,반고관야최소,박막광치발광건질적차이봉요화정립척촌유관.
