华中科技大学学报（自然科学版）
華中科技大學學報（自然科學版）
화중과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURE SCIENCE)
2008年
7期
41-44
,共4页
李战春%尹盛%赵亮%王敬义
李戰春%尹盛%趙亮%王敬義
리전춘%윤성%조량%왕경의
等离子体%粉粒表面刻蚀%沉降时间%刻蚀速率
等離子體%粉粒錶麵刻蝕%沉降時間%刻蝕速率
등리자체%분립표면각식%침강시간%각식속솔
在直立平板电极鞘层内进行了硅粉表面刻蚀.使硅粉的纯度由99%提高到99.97%.提出了鞘区中离子和高能氩原子的平均能量和通量方程,建芷了包括高能中性粒子贡献的刎蚀速率计算式.实验和计算结果表明总的刻蚀速率可达到2.04×1015/(cm2·s)以上.文中还给出了反应区内粉粒沉降时间的方程和粉粒的收集判据.在一般工艺条件下,硅粉在反应区内的沉降时间为5～10 s,这意味着纯化目标必须经约40次循环才能实现.
在直立平闆電極鞘層內進行瞭硅粉錶麵刻蝕.使硅粉的純度由99%提高到99.97%.提齣瞭鞘區中離子和高能氬原子的平均能量和通量方程,建芷瞭包括高能中性粒子貢獻的刎蝕速率計算式.實驗和計算結果錶明總的刻蝕速率可達到2.04×1015/(cm2·s)以上.文中還給齣瞭反應區內粉粒沉降時間的方程和粉粒的收集判據.在一般工藝條件下,硅粉在反應區內的沉降時間為5～10 s,這意味著純化目標必鬚經約40次循環纔能實現.
재직립평판전겁초층내진행료규분표면각식.사규분적순도유99%제고도99.97%.제출료초구중리자화고능아원자적평균능량화통량방정,건지료포괄고능중성입자공헌적문식속솔계산식.실험화계산결과표명총적각식속솔가체도2.04×1015/(cm2·s)이상.문중환급출료반응구내분립침강시간적방정화분립적수집판거.재일반공예조건하,규분재반응구내적침강시간위5～10 s,저의미착순화목표필수경약40차순배재능실현.
