固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2011年
1期
1-8
,共8页
增强模%铝铟氮/铝镓氮复合势垒%界面阱%能带剪裁力度%能带畸变
增彊模%鋁銦氮/鋁鎵氮複閤勢壘%界麵阱%能帶剪裁力度%能帶畸變
증강모%려인담/려가담복합세루%계면정%능대전재력도%능대기변
通过自洽求解薛定谔方程和泊松方程计算了势垒层挖槽过程中沟道阱能带和电子气密度的变化.研究了异质界面上极化电荷的大小和位置对沟道阱能带和能带剪裁力度的影响.发现帽层/势垒层界面上的界面阱会导致沟道电子波函数渗透到势垒层,引起能带畸变,降低电子的二维特性和输运性能.选用复合势垒并优化设计异质界面的能带带阶、极化电荷和AlN插入层,可以抬高界面阱的阱位,防止沟道电子波函数渗透到势垒层.AlInN/AlGaN复合势垒能显著提高挖槽中的能带剪裁力度,构筑出高导电的外沟道和在零栅压下夹断的内沟道,满足增强模工作要求.
通過自洽求解薛定諤方程和泊鬆方程計算瞭勢壘層挖槽過程中溝道阱能帶和電子氣密度的變化.研究瞭異質界麵上極化電荷的大小和位置對溝道阱能帶和能帶剪裁力度的影響.髮現帽層/勢壘層界麵上的界麵阱會導緻溝道電子波函數滲透到勢壘層,引起能帶畸變,降低電子的二維特性和輸運性能.選用複閤勢壘併優化設計異質界麵的能帶帶階、極化電荷和AlN插入層,可以抬高界麵阱的阱位,防止溝道電子波函數滲透到勢壘層.AlInN/AlGaN複閤勢壘能顯著提高挖槽中的能帶剪裁力度,構築齣高導電的外溝道和在零柵壓下夾斷的內溝道,滿足增彊模工作要求.
통과자흡구해설정악방정화박송방정계산료세루층알조과정중구도정능대화전자기밀도적변화.연구료이질계면상겁화전하적대소화위치대구도정능대화능대전재력도적영향.발현모층/세루층계면상적계면정회도치구도전자파함수삼투도세루층,인기능대기변,강저전자적이유특성화수운성능.선용복합세루병우화설계이질계면적능대대계、겁화전하화AlN삽입층,가이태고계면정적정위,방지구도전자파함수삼투도세루층.AlInN/AlGaN복합세루능현저제고알조중적능대전재력도,구축출고도전적외구도화재령책압하협단적내구도,만족증강모공작요구.
