电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
1999年
1期
132-136
,共5页
王文伟%包文清%胡翘%邬晓华%黄文浩
王文偉%包文清%鬍翹%鄔曉華%黃文浩
왕문위%포문청%호교%오효화%황문호
扫描隧道显微镜%微位移机构%抛物型波
掃描隧道顯微鏡%微位移機構%拋物型波
소묘수도현미경%미위이궤구%포물형파
我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析,测定了叠片式压电元件的有效压电常数,比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果,测试了微位移机构的工作步长和工作速度,以及在斜面上的爬行能力.同时我们通过分析和选择驱动波型参数,更好地控制了微位移机构的行进方向和速度.
我們建立瞭一套繫統用來驅動遲擊式微位移機構併實現數據的實時採集和分析,測定瞭疊片式壓電元件的有效壓電常數,比較瞭鋸齒波和拋物波對微位移機構的驅動效果,測試瞭微位移機構的工作步長和工作速度,以及在斜麵上的爬行能力.同時我們通過分析和選擇驅動波型參數,更好地控製瞭微位移機構的行進方嚮和速度.
아문건립료일투계통용래구동충격식미위이궤구병실현수거적실시채집화분석,측정료첩편식압전원건적유효압전상수,비교료거치파화포물파대미위이궤구적구동효과,측시료미위이궤구적공작보장화공작속도,이급재사면상적파행능력.동시아문통과분석화선택구동파형삼수,경호지공제료미위이궤구적행진방향화속도.
