功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
1期
52-54
,共3页
反应磁控溅射%氟化类金刚石薄膜%拉曼光谱%红外吸收光谱
反應磁控濺射%氟化類金剛石薄膜%拉曼光譜%紅外吸收光譜
반응자공천사%불화류금강석박막%랍만광보%홍외흡수광보
以高纯石墨作靶、Ar/CHF3作源气体采用射频反应磁控溅射法室温下制备了氟化类金刚石薄膜(F-DLC).发现随着射频功率的增加,F-DLC薄膜拉曼光谱的D峰与G峰强度之比ID/IG加大,薄膜中芳香环式结构比例上升.红外吸收光谱则显示射频功率增加导致薄膜中的氟含量上升,氟原子与碳原子以及芳香环的耦合加强.控制射频功率可以有效调制薄膜中的氟含量以及芳香环结构的比例,F-DLC可能成为热稳定性较好的碳氟薄膜.
以高純石墨作靶、Ar/CHF3作源氣體採用射頻反應磁控濺射法室溫下製備瞭氟化類金剛石薄膜(F-DLC).髮現隨著射頻功率的增加,F-DLC薄膜拉曼光譜的D峰與G峰彊度之比ID/IG加大,薄膜中芳香環式結構比例上升.紅外吸收光譜則顯示射頻功率增加導緻薄膜中的氟含量上升,氟原子與碳原子以及芳香環的耦閤加彊.控製射頻功率可以有效調製薄膜中的氟含量以及芳香環結構的比例,F-DLC可能成為熱穩定性較好的碳氟薄膜.
이고순석묵작파、Ar/CHF3작원기체채용사빈반응자공천사법실온하제비료불화류금강석박막(F-DLC).발현수착사빈공솔적증가,F-DLC박막랍만광보적D봉여G봉강도지비ID/IG가대,박막중방향배식결구비례상승.홍외흡수광보칙현시사빈공솔증가도치박막중적불함량상승,불원자여탄원자이급방향배적우합가강.공제사빈공솔가이유효조제박막중적불함량이급방향배결구적비례,F-DLC가능성위열은정성교호적탄불박막.
