材料科学与工艺
材料科學與工藝
재료과학여공예
MATERIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
1期
109-112
,共4页
黄元盛%邱万奇%罗承萍%黄彩娥
黃元盛%邱萬奇%囉承萍%黃綵娥
황원성%구만기%라승평%황채아
改性金剐石膜%化学气相沉积%碳钨化合物%附着力性能%氧气
改性金剮石膜%化學氣相沉積%碳鎢化閤物%附著力性能%氧氣
개성금과석막%화학기상침적%탄오화합물%부착력성능%양기
为了提高金刚石膜/基附着力,通过氧辅助使高温钨丝蒸发,在基底表面与碳氢基团反应生成纳米碳化钨,从而得到金刚石和纳米碳化钨混合的改性金刚石膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和压痕法研究了改性金刚石膜的形貌、结构和附着力性能.结果表明,碳钨化合物以纳米相存在于改性金刚石膜中.碳钨化合物的存在使改性金刚石膜的硬度下降,但是适当的碳钨化合物能使膜/基附着力性能得到较大提高.当氧气通入量为1.2sccm时,膜/基附着力性能最好.
為瞭提高金剛石膜/基附著力,通過氧輔助使高溫鎢絲蒸髮,在基底錶麵與碳氫基糰反應生成納米碳化鎢,從而得到金剛石和納米碳化鎢混閤的改性金剛石膜.用掃描電子顯微鏡、X射線衍射儀和壓痕法研究瞭改性金剛石膜的形貌、結構和附著力性能.結果錶明,碳鎢化閤物以納米相存在于改性金剛石膜中.碳鎢化閤物的存在使改性金剛石膜的硬度下降,但是適噹的碳鎢化閤物能使膜/基附著力性能得到較大提高.噹氧氣通入量為1.2sccm時,膜/基附著力性能最好.
위료제고금강석막/기부착력,통과양보조사고온오사증발,재기저표면여탄경기단반응생성납미탄화오,종이득도금강석화납미탄화오혼합적개성금강석막.용소묘전자현미경、X사선연사의화압흔법연구료개성금강석막적형모、결구화부착력성능.결과표명,탄오화합물이납미상존재우개성금강석막중.탄오화합물적존재사개성금강석막적경도하강,단시괄당적탄오화합물능사막/기부착력성능득도교대제고.당양기통입량위1.2sccm시,막/기부착력성능최호.
