理化检验-化学分册
理化檢驗-化學分冊
이화검험-화학분책
PHYSICAL TESTING AND CHEMICAL ANALYSIS PART B:CHEMICAL ANALYSIS
2006年
9期
693-698
,共6页
何晓蕾%张毅%蓝闽波%陈英颖%邬君飞%王艳萍
何曉蕾%張毅%藍閩波%陳英穎%鄔君飛%王豔萍
하효뢰%장의%람민파%진영영%오군비%왕염평
辉光放电光谱法%纳米级薄膜%表面分析
輝光放電光譜法%納米級薄膜%錶麵分析
휘광방전광보법%납미급박막%표면분석
介绍了利用辉光放电光谱法分析金属材料表面的纳米级薄膜.通过优化辉光光源的放电参数,计算标准样品的溅射率.溅射率经校正后,建立各元素的标准工作曲线,从而形成了纳米级薄膜的定量表面分析方法.试验证明,此方法对膜厚的测定具有很好的准确度和精密度,可应用于多种金属材料表面纳米级薄膜的研究.
介紹瞭利用輝光放電光譜法分析金屬材料錶麵的納米級薄膜.通過優化輝光光源的放電參數,計算標準樣品的濺射率.濺射率經校正後,建立各元素的標準工作麯線,從而形成瞭納米級薄膜的定量錶麵分析方法.試驗證明,此方法對膜厚的測定具有很好的準確度和精密度,可應用于多種金屬材料錶麵納米級薄膜的研究.
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