功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
2期
176-178,182
,共4页
刘春海%杜晓松%汪德志%黄宁康%杨斌
劉春海%杜曉鬆%汪德誌%黃寧康%楊斌
류춘해%두효송%왕덕지%황저강%양빈
离子束混合%Mo薄膜%H+辐照%XPS分析
離子束混閤%Mo薄膜%H+輻照%XPS分析
리자속혼합%Mo박막%H+복조%XPS분석
对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H+辐照前后的XPS分析,研究了H+辐照对钼膜的结合能的影响.分析结果表明,沉积的钼膜中除了单质钼外,还有部分钼的氧化物;H+辐照结果表明,H+的辐照使钼的结合能向低能方向偏移;钼的氧化物有所减少,说明污染的氧化物在一定程度上被择优溅射掉.
對離子束混閤技術在不鏽鋼基體上沉積的鉬膜進行瞭H+輻照前後的XPS分析,研究瞭H+輻照對鉬膜的結閤能的影響.分析結果錶明,沉積的鉬膜中除瞭單質鉬外,還有部分鉬的氧化物;H+輻照結果錶明,H+的輻照使鉬的結閤能嚮低能方嚮偏移;鉬的氧化物有所減少,說明汙染的氧化物在一定程度上被擇優濺射掉.
대리자속혼합기술재불수강기체상침적적목막진행료H+복조전후적XPS분석,연구료H+복조대목막적결합능적영향.분석결과표명,침적적목막중제료단질목외,환유부분목적양화물;H+복조결과표명,H+적복조사목적결합능향저능방향편이;목적양화물유소감소,설명오염적양화물재일정정도상피택우천사도.
