大孔径差分真空系统中充气气流效应分析
대공경차분진공계통중충기기류효응분석
Analysis of filled gas flow effect on large-aperture difference vacuum system
  • 万方数据
    真空 진공
    VACUUM
    2007年 5期 48-51 ,共4页

    张素平%杨晓天%蒙峻%张军辉%赵玉刚%张喜平%胡振军%侯生军

    장소평%양효천%몽준%장군휘%조옥강%장희평%호진군%후생군

    充气气流效应%大孔径%差分真空系统%差分比%分子流 充氣氣流效應%大孔徑%差分真空繫統%差分比%分子流
    충기기류효응%대공경%차분진공계통%차분비%분자류
    分析了在分子流态下差分真空系统中充气气流效应的存在,通过引入了差分比,定量计算出充气气流效应对差分真空系统的影响.
    분석료재분자류태하차분진공계통중충기기류효응적존재,통과인입료차분비,정량계산출충기기류효응대차분진공계통적영향.
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