人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2009年
2期
434-439
,共6页
杨春%卢文壮%左敦稳%徐锋%任卫涛
楊春%盧文壯%左敦穩%徐鋒%任衛濤
양춘%로문장%좌돈은%서봉%임위도
金刚石膜%HFCVD%温度场%气相空间场%数值分析
金剛石膜%HFCVD%溫度場%氣相空間場%數值分析
금강석막%HFCVD%온도장%기상공간장%수치분석
探讨了典型气氛中热丝辐射、气体热传导与对流、化学反应生热等因素对衬底温度的影响,建立了三维热丝辐射和二维热流耦合有限元模型,研究了各工艺参数对衬底温度场及气相空间场的影响.结果表明H2占主导地位的气氛中衬底表面的氢原子重组放热对衬底温度有较大影响,氩气气氛中原子重组放热对衬底温度影响很小;热丝温度对衬底温度的影响最大;进气口到衬底的距离及进气口气体流速对衬底附近的流场影响最大,适当提高进气口到衬底的距离有助于提高衬底附近流场均匀性,增大进气速度有助于突破热障提高衬底表面流速,但同时加剧了衬底附近流场的不均匀性.
探討瞭典型氣氛中熱絲輻射、氣體熱傳導與對流、化學反應生熱等因素對襯底溫度的影響,建立瞭三維熱絲輻射和二維熱流耦閤有限元模型,研究瞭各工藝參數對襯底溫度場及氣相空間場的影響.結果錶明H2佔主導地位的氣氛中襯底錶麵的氫原子重組放熱對襯底溫度有較大影響,氬氣氣氛中原子重組放熱對襯底溫度影響很小;熱絲溫度對襯底溫度的影響最大;進氣口到襯底的距離及進氣口氣體流速對襯底附近的流場影響最大,適噹提高進氣口到襯底的距離有助于提高襯底附近流場均勻性,增大進氣速度有助于突破熱障提高襯底錶麵流速,但同時加劇瞭襯底附近流場的不均勻性.
탐토료전형기분중열사복사、기체열전도여대류、화학반응생열등인소대츤저온도적영향,건립료삼유열사복사화이유열류우합유한원모형,연구료각공예삼수대츤저온도장급기상공간장적영향.결과표명H2점주도지위적기분중츤저표면적경원자중조방열대츤저온도유교대영향,아기기분중원자중조방열대츤저온도영향흔소;열사온도대츤저온도적영향최대;진기구도츤저적거리급진기구기체류속대츤저부근적류장영향최대,괄당제고진기구도츤저적거리유조우제고츤저부근류장균균성,증대진기속도유조우돌파열장제고츤저표면류속,단동시가극료츤저부근류장적불균균성.
