南京理工大学学报(自然科学版)
南京理工大學學報(自然科學版)
남경리공대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY（NATURE SCIENCE）
2010年
2期
252-256
,共5页
王广安%章玉珠%陆建%倪晓武
王廣安%章玉珠%陸建%倪曉武
왕엄안%장옥주%륙건%예효무
强脉冲激光%烧蚀%蒸发凝结法%脉宽%烧蚀深度历史
彊脈遲激光%燒蝕%蒸髮凝結法%脈寬%燒蝕深度歷史
강맥충격광%소식%증발응결법%맥관%소식심도역사
为避免考虑强脉冲激光烧蚀过程涉及的复杂物理问题,提出一种用蒸发和凝结理论计算烧蚀坑深度历史的方法.给出了一定靶面压力和温度历史下的烧蚀深度历史计算公式,分析了脉冲宽度对计算准确度的影响.用该方法计算了脉宽为20 ns,波长为1.06 μm,峰值强度为500 MW/cm2的脉冲激光烧蚀铝靶过程中光斑中心靶面烧蚀深度的历史,计算结果与文献符合良好.激光脉宽越长,该计算方法越有效.
為避免攷慮彊脈遲激光燒蝕過程涉及的複雜物理問題,提齣一種用蒸髮和凝結理論計算燒蝕坑深度歷史的方法.給齣瞭一定靶麵壓力和溫度歷史下的燒蝕深度歷史計算公式,分析瞭脈遲寬度對計算準確度的影響.用該方法計算瞭脈寬為20 ns,波長為1.06 μm,峰值彊度為500 MW/cm2的脈遲激光燒蝕鋁靶過程中光斑中心靶麵燒蝕深度的歷史,計算結果與文獻符閤良好.激光脈寬越長,該計算方法越有效.
위피면고필강맥충격광소식과정섭급적복잡물리문제,제출일충용증발화응결이론계산소식갱심도역사적방법.급출료일정파면압력화온도역사하적소식심도역사계산공식,분석료맥충관도대계산준학도적영향.용해방법계산료맥관위20 ns,파장위1.06 μm,봉치강도위500 MW/cm2적맥충격광소식려파과정중광반중심파면소식심도적역사,계산결과여문헌부합량호.격광맥관월장,해계산방법월유효.
