西安电子科技大学学报（自然科学版）
西安電子科技大學學報（自然科學版）
서안전자과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIDIAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2011年
4期
38-41
,共4页
王平%杨银堂%郭立新%尚韬%刘增基
王平%楊銀堂%郭立新%尚韜%劉增基
왕평%양은당%곽립신%상도%류증기
4H-SiC%欧姆接触%二次离子质谱
4H-SiC%歐姆接觸%二次離子質譜
4H-SiC%구모접촉%이차리자질보
通过离子注入外延层实现高浓度掺杂和直接采用高掺杂外延层两种方法分别制备了4H-SiC欧姆接触,对应退火条件分别为( 950℃,Ar,30 min)和(1000℃,N2,2 rain).采用传输线法测试得到的比接触电阻分别为1.359×10-5Ω.cm2和3.44×10-6 Ω ·cm2.二次离子质谱分析表明,高温退火过程中镍硅化合物和TiC的形成有利于欧姆接触特性.
通過離子註入外延層實現高濃度摻雜和直接採用高摻雜外延層兩種方法分彆製備瞭4H-SiC歐姆接觸,對應退火條件分彆為( 950℃,Ar,30 min)和(1000℃,N2,2 rain).採用傳輸線法測試得到的比接觸電阻分彆為1.359×10-5Ω.cm2和3.44×10-6 Ω ·cm2.二次離子質譜分析錶明,高溫退火過程中鎳硅化閤物和TiC的形成有利于歐姆接觸特性.
통과리자주입외연층실현고농도참잡화직접채용고참잡외연층량충방법분별제비료4H-SiC구모접촉,대응퇴화조건분별위( 950℃,Ar,30 min)화(1000℃,N2,2 rain).채용전수선법측시득도적비접촉전조분별위1.359×10-5Ω.cm2화3.44×10-6 Ω ·cm2.이차리자질보분석표명,고온퇴화과정중얼규화합물화TiC적형성유리우구모접촉특성.
