贵金属
貴金屬
귀금속
PRECIOUS METALS
2012年
1期
78-83
,共6页
陈高芳%常桥稳%谌喜珠%叶青松%陈立桥%刘伟平
陳高芳%常橋穩%諶喜珠%葉青鬆%陳立橋%劉偉平
진고방%상교은%심희주%협청송%진립교%류위평
金属材料%钯薄膜%前驱体%金属有机化学气相沉积
金屬材料%鈀薄膜%前驅體%金屬有機化學氣相沉積
금속재료%파박막%전구체%금속유궤화학기상침적
金属钯薄膜作为一种新型的稀贵金属低维材料,因为其优异的物理和化学性能,在耐高温涂层、微电子、膜反应器、催化等领域有着非常重要的应用.钯薄膜优异的性能及广阔的应用前景引起人们广泛的关注.介绍了金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备钯膜用前驱体的研究进展以及MOCVD工艺中各类前驱体的优缺点,概述了其目前研究的热点和进一步研究的方向.
金屬鈀薄膜作為一種新型的稀貴金屬低維材料,因為其優異的物理和化學性能,在耐高溫塗層、微電子、膜反應器、催化等領域有著非常重要的應用.鈀薄膜優異的性能及廣闊的應用前景引起人們廣汎的關註.介紹瞭金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)法製備鈀膜用前驅體的研究進展以及MOCVD工藝中各類前驅體的優缺點,概述瞭其目前研究的熱點和進一步研究的方嚮.
금속파박막작위일충신형적희귀금속저유재료,인위기우이적물리화화학성능,재내고온도층、미전자、막반응기、최화등영역유착비상중요적응용.파박막우이적성능급엄활적응용전경인기인문엄범적관주.개소료금속유궤화학기상침적(MOCVD)법제비파막용전구체적연구진전이급MOCVD공예중각류전구체적우결점,개술료기목전연구적열점화진일보연구적방향.
